傅里葉紅外氣體分析儀使用紅外線進(jìn)行氣體分析,。這是基于待分析組分的不同濃度,吸收的輻射能量不同,。剩余的輻射能量使探測器中的溫度升高不同,,移動薄膜兩側(cè)的壓力不同,,從而產(chǎn)生電容探測器的電信號。這樣,,可以間接測量待分析組分的濃度,。
傅里葉紅外氣體分析儀的工作原理如下:
紅外氣體分析儀使用兩個(gè)獨(dú)立的光源產(chǎn)生兩條紅外線,通過調(diào)制器,,成為5Hz射線,。根據(jù)實(shí)際需要,可以通過過濾器減少背景氣體中其他紅外吸收氣體成分的干擾,。
紅外線穿過兩個(gè)氣室,,一個(gè)是充滿連續(xù)流動的被測氣體的測量室,另一個(gè)是裝滿非吸收背景氣體的參考室,。在操作期間,,當(dāng)測量室中被測氣體的濃度改變時(shí),吸收的紅外光的量將相應(yīng)地改變,,而參考光束(參考室光束)的光量不會改變,。來自第二腔室的光量差穿過檢測器,導(dǎo)致檢測器產(chǎn)生壓差,,該壓差成為電容檢測器的電信號,。
接收室中充滿樣品氣體中的等待組分。兩個(gè)接收室由薄金屬膜隔開,。當(dāng)兩個(gè)測量壓力不同時(shí),,薄膜會變形并產(chǎn)生位移,。固定圓盤電極放置在膜的一側(cè),。可動隔膜和固定電極構(gòu)成電容式逆變器的兩極,。整個(gè)結(jié)構(gòu)保持嚴(yán)格密封,。兩個(gè)接收室中的氣體由一個(gè)活動薄膜隔開,但在結(jié)構(gòu)上設(shè)置了一個(gè)直徑為百分之幾毫米的小孔,,以使兩側(cè)的氣體保持靜態(tài)平衡,。